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多回路温度控制模块在半导体上的应用2021-3-9

在大部分半导体工艺中,温度都是重要的工艺参数,温度控制的稳定性和精确性对工艺都有着至关重要的影响,作为全球温度及过程控制器行业的生产厂商,West Control Solutions全新升级产品的KS vario、KS98-2、Relay C 、REVEX以及全系列温度和过程控制器、可控硅调功器,为半导体行业客户提供我们全新的温度与过程控制解决方案