太阳能光伏发电系统（Solar power system），即光伏是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应，将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统。

      PECVD/扩散炉/氧化炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备，被广泛应用于半导体集成电路，先进封装，电力电子（IGBT），MEMS封装，光伏电池制造等领域。

PECVD -- 指等离子体增强化学的气相沉积法。

扩散  -- 扩散是指在高温条件下，利用热扩散原理将杂质元素按工艺要求掺入硅衬底中，使其具有特定的浓度分布，从而改变硅材料的电学特性

氧化 -- 氧化是将硅片放置于氧气或水汽等氧化剂的氛围中进行高温热处理，在硅片表面发生化学反应形成氧化膜的过程。

      这三个过程都涉及到温度控制，而且这个控制过程是一个典型的大滞后过程，对于普通的单回路PID来说其实是相当难控制的。这三种工艺的设备，都可以使用我们全新的升级产品KS98-2。